集成电路光刻工艺的尺寸是推动洁净度要求向前发展的决定性因素。技术越进步，尺寸就越小。如果落在集成电路上的粒子大于最小光刻尺寸的1%-2%，就会使集成电路成为废品。金属粒子、离子、细菌等都是产生废品的元凶。空气洁净度的好坏直接影响集成电路生产的成品率。